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        MEMC2300A-01
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        • MEMC2300A系列質量流量控制器

        • 1. 適用范圍:氧氣O2 /?氮氣N2?/ 氬氣Ar / 天然氣LNG等氣體 。通徑DN3-DN20,壓力0-2.5Mpa,溫度 -20-80°C
          2. 技術特點:新一代微機電(MEMS)技術,自適應信號處理與控制技術,數值仿真技術設計。具有精度高、穩定性好、響應快的特點。
          3. 主要功能:流量數據采集/處理、記錄/顯示,流速控制,時間控制,總流量控制。滿足就地、遠程監測與控制需求。 安裝方便,維護簡單。
          4. 應用場合:醫療、制藥、半導體生產工藝過程如擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入、以及真空鍍膜、光纖熔煉等;實驗室微反應裝置, 混氣配氣系統, 毛細管測量氣相色譜儀, 光纖制造工藝;石油化工、冶金、焊接等過程控制。
        產品描述
        功能
        規格參數
        訂貨信息
        附件
        圖表

        MEMC2300系列智能質量流量控制器 (Mass Flow Controller) 用于精準測量和控制氣體介質的質量流量。通過就地設定或遠程控制可使氣體介質的質量流量按照工藝過程要求自動穩定在設定值上。質量流量基本不受壓力和溫度的影響, 具有精度高、重復性好的特點。質量流量控制器按照國家標準要求制造, 具有良好的兼容性和互換性。同時, MEMC2300系列智能質量流量控制器具備數據處理、記錄、顯示等相關功能, 還可實現NB-IOT物聯遠傳功能。該控制器安裝維護方便,包括底板安裝和DIN導軌安裝兩種安裝方式。

        MEMC2300系列智能質量流量控制器主要應用于擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入、真空鍍膜設備、光纖熔煉等光電半導體生產工藝,微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量氣象色譜儀等試驗室設備轡頭。且可用于石油化工、冶金、焊接、家電制造、制藥等行業過程控制。

        MEMC2300系列智能質量流量控制器由質量流量計、比例電磁閥、信號處理與控制模塊三個部分構成。

        質量流量計由本體、傳感器、信號處理與顯示模塊構成。

        傳感器采用CMOS半導體工藝制造而成的MEMS微機電芯片。流量測量工作原理采用熱擴散原理, 芯片中央設加熱器, 加熱器的上下游兩側分別配置熱電堆, 熱電堆設測溫元件。加熱器和熱電堆陣列的底部設有空腔, 可高效檢測加熱器的熱量變化。加熱元件導入恒定電流后, 其附近區域形成相應的溫度場。介質流動使局部溫度場重新分布, 因為溫度場的變化與流體質量流量流速呈線性關系, 所以通過精確測量溫度場可反算出流體質量流速。傳感器應用熱擴散原理, 直接測量質量流量, 基本無需壓力、溫度補償,且將熱擴散應用至微米尺度, 因此采用該傳感器制造的質量流量計具有精度高、量程寬、靈敏、計量精準的特點。

        流量計本體用于構造安全、準確的測量通道。而信號處理與顯示單元用于處理傳感器信號并將信號轉換成用戶需要的監測數據顯示在LCD屏上。

        比例電磁閥是電磁驅動的控制閥與流量計結合形成閉環流量控制系統,可以穩定、精確地控制氣體流量。比例電磁閥是交、直流型供電的常閉閥, 磁滯低、重復性高、反應靈敏, 確保流量控制器良好的動態特性,且具有寬泛的Cv流量系數范圍。采用彈性閥座密封件, 閥門可保證氣密性關斷截止??商峁┱w式卡套接頭用于安裝閥組。

        信號處理與控制模塊與比例電磁閥、質量流量計形成閉環質量流量控制系統。該模塊采用性能優良、可靠性高嵌入系統設計。集成了先進的自適應控制算法, 可以有效抑制測量數據隨機誤差,因此系統具有響應迅速、精度高、穩定性好的特點。

        流量設定 在閥控狀態下,設定范圍為0~ 110% F.S.
        流量讀取 讀取設定瞬時流量、實時瞬時流量、流量總量。
        吹掃狀態 安裝氣路過程中清除管道內的異物,確保管路的清潔。(注:不支持長時間使用)
        截止關閉 實現管路關斷功能。(注:不支持長時間使用)
        總量控制 控制介質總量達到設定值時自動關閉。
        定時控制 在設定時間范圍內控制流量。
        實時記錄 記錄氣體流量,支持U盤存取。
        實時曲線 瞬時流量的趨勢曲線。
        介質選擇 實現一個MFC控制多種氣體。
        分段流量控制 氣體流量曲線控制
        注:流量設定與流量讀取基本功能可在質量流量控制器實現,其余為高級功能,需選配外接觸摸屏控制器實現。

         

        控制參數

        介質壓力(x 0.1MPa) 02, 04, 06, 08, 10
        介質溫度 -40~85°C, 可定制-40~200°C
        流量范圍 0.5SLPM ~ 30SLPM (標氣N2)
        流量系數Cv范圍 4.0x10-4 ~1.6x10-2
        量程比 1:50
        響應時間 < 50 ms (10-90% F.S.)
        穩定時間 < 1s (10-90% F.S.)
        精度 ±1.5% F.S.
        重復性 < 0.25% F.S.
        靈敏度 < 0.1% F.S

         

        電氣參數

         

        比例閥電阻 90歐姆
        比例閥電感 25mH
        比例閥開啟電壓 8~10VDC
        比例閥功耗 < 6Watt
        流量計功耗 < 0.3Watt
        電源 24VDC
        通訊 RS485

         

        機械參數

         

        連接 1/8”, 3/8”, 1/2”, 3/4”卡套
        安裝 面板安裝, 導軌安裝
        尺寸 160x147x30
        重量 1.5Kg

         

        材質

         

        本體 鋁合金、不銹鋼、鈦合金
        內孔 鋁合金、不銹鋼、鈦合金
        閥件 不銹鋼
        O圈 丁腈、乙烯、丙烯、全氟橡膠、氯丁橡膠、氟化橡膠
        閥座 丁腈、乙烯、丙烯、全氟橡膠、氯丁橡膠、氟化橡膠
        連接 銅或不銹鋼

         

        注意

        要求安裝滿足要求的過濾器保證氣體清潔, 以免造成傳感器污染甚至氣路堵塞, 影響控制精度;
        介質壓力需在允許范圍內;
        流量計上游應保留直管段;
        流量控制器以N2作為標氣標定, 使用時應根據實氣種類進行控制器參數設定;
        如用戶需要在腐蝕性氣體場合下使用質量流量控制器,需訂貨時事先聲明;
        流量控制器截止功能不建議長時間使用。 需要長時間截止功能時,應在質量流量控制器兩端另設截止閥或電磁閥。

        MEMC2300系列流量控制器

         

        MEMC23Axx-Bxx-Cxx-Dxx-Exx-Fxx-Gxx-Hxx
        A 通徑 (mm) DN03, 06, 08, 10, 15
        B介質 A空氣, N氮氣, O氧氣, R氬氣, C二氧化碳
        C 最大流量 (SLPM) 01, 02, 05, 10, 30
        D入口壓力(x 0.1Mpa) 02, 04, 06. 08, 10
        E輸出通訊 01數字量RS485
        F本體材質 01鋁合金, 02銅合金, 03 不銹鋼SUS304, 04 不銹鋼SUS316, 05 鈦合金
        G 連接 F法蘭連接尺寸, N內螺紋連接NPT尺寸(1/8”, 3/8”, 1/2”,  3/4”)
        H 安裝方式 01 面板安裝, 02 導軌安裝

         

        選型實例

        MEMC2315- N-30-04-02-01-N1/8-01
        微納熱式流量控制器2300系列, A通徑DN15, B介質為氮氣, C最大流量30SLPM, 入口壓力為0.4 Mpa, 通訊方式RS485, 本體材料銅合金, 內螺紋NPT連接1/8”, 面板安裝。

        0123011-01 流量計本體密封圈
        0123012-01 流量計殼體面板密封圈
        0123013-01 接頭密封圈
        0123014-Axx-Bxx-Cxx-Dxx 接頭
        A 通徑 (mm) DN03, 06, 08, 10, 15
        B 連接 F法蘭尺寸, N內螺紋NPT尺寸 (1/8”, 3/8”, 1/2”, 3/4”)
        C 消聲濾器 01帶消聲濾器, 02不帶消聲濾器
        D 本體材質 01鋁合金, 02銅合金, 03 不銹鋼SUS304, 04 不銹鋼SUS316, 05 鈦合金
        0123015-01 面板安裝底座
        0123015-02 導軌安裝底座
        0123016-01 信號與電源電纜
        0123017-01 24V電源組件
        0123018-02 觸屏控制器
        0123019-01 控制箱

        MEMC2300系列智能質量流量控制器階躍響應

         

        MEMF2000系列智能質量流量控制器安裝尺寸圖

         

        圖1. MEMC2315智能質量流量控制器1~30SLPM階躍響應曲線

         

        img

         

        圖2. MEMC2315智能質量流量控制器1~10SLPM階躍響應曲線

         

        MEMC2300A系列 質量流量控制器

         

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